Титанові частини для напівпровідників

1. Контроль над-вивільнення домішок

Протягом усього виробничого процесу ми використовуємо схему обробки керамічних інструментів + ​​беззалізних{1}}інструментів. Усі допоміжні матеріали, що контактують із заготівлею, проходять три цикли очищення кислотною промивкою, суворо контролюючи загальний вміст заліза, хрому тощо, щоб бути в межах 0,02%. Це повністю дозволяє уникнути звичайної проблеми забруднення іонами металу в напівпровідникових процесах і запобігає утворенню надмірних металевих залишків на поверхні пластини. Це зменшує ризик короткого замикання з боку матеріалу.

 

2. Тривала -стійкість до корозії

Після того, як деталь буде сформована, вона буде занурена в дві різні концентрації слабкого окисного розчину для пасивації. На поверхні буде створено однорідну захисну плівку з діоксиду титану товщиною 8-10 нм. Навіть під час безперервного впливу розбавленої фтористоводневої кислоти та змішаних розчинів азотної кислоти в процесі очищення напівпровідників протягом 2000 годин на поверхні пластини не буде відшарування точок і сміття.

 

3. Високо{1}}точна стабільність розмірів

Під час обробки весь процес використовує спрей рідкого азоту для постійного контролю температури, контролюючи деформацію, що виникає під час обробки, в межах 0,003 мм. Перед тим, як залишити фабрику, готова продукція проходить 24-годинні циклічні випробування при високих і низьких температурах. Навіть при роботі в напівпровідниковому технологічному середовищі при температурі 180 градусів протягом тривалого часу не буде ніяких деформаційних заклинювання та деформаційного прилипання. Немає необхідності часто розбирати і регулювати точність центрування.

 

4. Низька швидкість вихлопу підходить для вакуумного середовища

Усі частини спочатку піддаються вакуумній випічці при 120 градусах протягом 48 годин для дегазації. Водяна пара та дрібні частинки, адсорбовані на поверхні, повністю видаляються. Після встановлення у напівпровідниковій вакуумній камері він може допомогти обладнанню досягти цільового рівня вакууму на 25% швидше, ніж використання звичайних деталей із нержавіючої сталі, зменшуючи втрату часу на очікування вакуумного відкачування.

1. Вафельний лоток для машини для осадження з парової фази PVD

Використовується для підтримки кремнієвої пластини, на яку буде нанесено покриття. У високо{1}}температурному середовищі напилення матеріалу мішені титанова частина не реагує з газом, що розпилюється, і не вивільняє надлишок домішок у камеру, що може покращити рівномірність шару металевої плівки, нанесеного на поверхню пластини, на 5%, уникаючи проблеми витоку стружки, спричиненої недостатньою товщиною металевого шару. Він підходить для виробничих вимог 28 нм і нижче.

 

2. Решітка для вафель для машини для вологого прибирання

Під час стандартного процесу очищення RCA стійку повністю занурюють у миючі розчини сильної кислоти та сильного лугу. Титановий матеріал не піддається корозії та не утворює сміття, а також не буде прилипати до поверхні пластини, спричиняючи забруднення частинками. Це може зменшити рівень дефектів частинок при очищенні однієї партії пластин на 12%. У той же час легка характеристика стійки також може зменшити навантаження на передачу очисної машини та знизити споживання енергії обладнанням.

 

3. Сидіння для фіксації електродів для машини для іонної імплантації

Використовується для фіксації високовольтних-електродів у машині. Не-магнітні властивості титану не заважатимуть траєкторії іонного пучка, дозволяючи контролювати відхилення глибини іонної імплантації в дуже малому діапазоні, уникаючи проблеми нерівномірної ін’єкційної дози в локальній області пластини. Це значно покращує стабільність електричних характеристик чіпа.

 

4. З'єднувач фланцевий для напівпровідникового вакуумного трубопроводу

З'єднання різних секцій вакуумного трубопроводу машини. Низька швидкість вихлопу титану може підтримувати високий-чистий вакуум усередині трубопроводу та не спричинить коливань у ступені вакууму через виділення газу звичайними фланцями з нержавіючої сталі після тривалого-користування. Це зменшує кількість сигналів тривоги про зупинку машини, викликаних порушенням вакууму, і збільшує час безперервної роботи виробничої лінії на 30%.

1. Налаштування не-стандартних розмірів

Покладаючись на наш власний 5-осьовий обробний центр, довжину, ширину та висоту деталей можна регулювати відповідно до місця установки наявного напівпровідникового обладнання клієнта. Клієнту не потрібно змінювати інтерфейс обладнання, а перший зразок може бути доставлений протягом 7 днів.

 

2. Налаштування стану поверхні

За бажанням можна вибрати два методи обробки поверхні: дзеркальне полірування та матова піскоструминна обробка. Вони підходять для різних вимог щодо чистоти виробничого процесу та можуть уникнути адгезії частинок, що впливає на середовище виробництва напівпровідників.

 

3. Налаштування спеціальних інтерфейсів

Спеціальні конструкції, такі як спеціальні слоти для карток і позиціонуючі отвори, можна налаштувати, щоб повністю відповідати вимогам до складання обладнання,-розробленого клієнтом. Не потрібно додавати додаткові компоненти адаптера.

Пункт	Специфікація
Назва продукту	Титанові деталі для напівпровідників
матеріал	Чистий титан (клас 2), титановий сплав (клас 5 Ti-6Al-4V)
Виробничий процес	Обробка з ЧПУ, токарна обробка, фрезерування, шліфування, зварювання
Доступні форми	Пластина, кільце, трубка, стрижень, блок, спеціальні частини
Розміри	Налаштований за кресленнями або зразками
Толерантність	До ±0,01 мм
Оздоблення поверхні	Полірований, піскоструминний, маринований, анодований, точна механічна обробка
Шорсткість поверхні	Ra 0,2–1,6 мкм (доступно на замовлення)
Чистота	До 99,6% (титан 2 класу)
Робоча температура	До 400 градусів
Щільність	4,51 г/см³
Твердість	2 сорт: HB 145–200; 5 клас: HRC 30–36
Стійкість до корозії	Відмінна стійкість до кислот, лугів і технологічних хімікатів
Хімічна сумісність	Підходить для напівпровідникових хімікатів і середовищ над-високої чистоти
Огляд	Перевірка розмірів, сертифікація матеріалів, перевірка поверхні

 

 

 

Популярні Мітки: титанові деталі для напівпровідників, Китай титанові деталі для напівпровідників виробники, постачальники, фабрика