Титанові напівпровідникові компоненти
Лоток для транспортування з напівпровідникового-титанового сплаву, випущений компанією China Super Tech Co., Ltd., — це центральний компонент із майже-сітчастою-формою, спеціально розроблений-для висококласного літографічного обладнання. Його вага становить близько 80 кілограмів. Він виготовлений із підкладки з титанового сплаву за допомогою процесу лиття з однієї-деталі та може стабільно перевозити пластинчасті модулі в середовищі виробництва напівпровідників із високою-чистотою та високою{11}}вібрацією. Це значно зменшує відходи матеріалу та відхилення точності, викликані традиційними методами обробки.
- Введення продукту
Особливості продукту
1. Низькі втрати матеріалу
Завдяки використанню процесу дугового плазмового осадження та використання титанового дроту як сировини для -за-пошарового сплавлення та формування коефіцієнт використання матеріалу на 70% вищий, ніж при традиційному фрезеруванні, зменшуючи непотрібне споживання дорогоцінних титанових матеріалів.
2. Висока жорсткість конструкції
Після формування внутрішня структура є щільною та однорідною, без поширених дефектів пористості у традиційному литті. Менш імовірно, що він деформується в умовах високо-швидкісного руху обладнання, а коливання точності становлять менше 0,02 мм під час тривалого-користування.
3. Низька залишкова напруга
Після формування для компонентів забезпечується ексклюзивна-температурна обробка старіння. Залишкова напруга всередині компонентів набагато нижча за рівень галузевого стандарту. Під час подальшої точної обробки не відбудеться неочікуваної деформації.
4. Висока чистота і сумісність
Поверхня титанового сплаву може бути оброблена пасивацією, яка не схильна до осідання металевих частинок і повністю відповідає високим вимогам чистоти виробництва напівпровідникового цеху.
Застосування продукту
1. Вафельний носій для літографічного обладнання
Як лоток для пластини в літографічній системі він надійно утримує модуль пластини під час високо-швидкісного руху та процесу точного вирівнювання, запобігаючи зміщенню пластини під час процесу експонування та забезпечуючи точність травлення ліній кожної пластини.
2. Вакуумний носій покриття
Розміщена всередині машини для нанесення вакуумного покриття напівпровідників, вона розподіляє мікросхеми, на які потрібно нанести покриття. Титановий матеріал має надзвичайно низьку швидкість виділення газів у вакуумному середовищі, що не порушує стан високого вакууму всередині камери для нанесення покриття, забезпечуючи однорідність і щільність шару покриття.
3. База пристосування для тестування мікросхем
Як базовий компонент обладнання для сортування та тестування чіпів, висока стабільність, яку забезпечує власна вага, може протидіяти легкій вібрації, спричиненій високо-швидкісним сортуванням обладнання, роблячи вирівнювання зонда та штирів чіпа точнішим і знижуючи рівень помилок під час тестування.
Індивідуальне обслуговування
China Super Tech Co., Ltd. може надати повну-налаштовану послугу, починаючи від узгодження попиту до доставки продукту. Завдяки вдосконаленій технології осадження титанового сплаву він може швидко виготовляти заготовки майже-чистої-форми без необхідності повторного виготовлення форми. Згодом потрібна лише невелика точність обробки для досягнення необхідної точності розмірів відповідно до специфікацій замовника.
Ми можемо відкоригувати форму та внутрішню структуру посилення компонентів відповідно до фактичного простору для установки та-вимог до навантаження обладнання замовника, а також можемо надати рішення для обробки поверхні, які відповідають різним рівням чистоти відповідно до потреб замовника. Ми стежитимемо за ходом обробки протягом усього процесу, щоб гарантувати, що налаштовані компоненти можуть безпосередньо вписуватися в існуючу систему ланцюга постачання напівпровідникового обладнання замовника без необхідності додаткової модифікації інтерфейсу обладнання.
Специфікація
|
Параметр |
Специфікація |
|
Назва продукту |
Титанові напівпровідникові компоненти |
|
матеріал |
Чистий титан (клас 1, клас 2), титановий сплав (клас 5 / Ti-6Al-4V) |
|
Стандартний |
ASTM B348, ASTM B381, ASTM F67, ASTM F136 (доступно на замовлення) |
|
Виробничий процес |
Обробка з ЧПУ, точне токарне оброблення, фрезерування, шліфування |
|
Доступні форми |
Кільця, камери, мішені, фланці, пластини, пристосування, спеціальні частини |
|
Діаметр |
5 мм – 1000 мм |
|
Довжина |
До 3000 мм |
|
Товщина |
0,5 мм – 200 мм |
|
Толерантність |
±0,005 мм до ±0,02 мм (залежно від конструкції) |
|
Оздоблення поверхні |
Механічна обробка, полірування, дзеркальна обробка, піскоструминна обробка, маринування |
|
Шорсткість поверхні |
Ra 0,2–1,6 мкм |
|
Чистота |
До 99,9% (комерційно чистий титан) |
|
Щільність |
4,51 г/см³ |
|
Робоча температура |
До 600 градусів |
|
Стійкість до корозії |
Чудова стійкість до кислот, лугів і ультра{0}}хімічних речовин |
|
Атестація |
ISO 9001, Сертифікат випробування матеріалу (EN 10204 3.1 доступний) |
|
OEM / ODM |
в наявності |
FAQ
Чому титан широко використовується в напівпровідниковій апаратурі замість нержавіючої сталі чи алюмінію?
+
-
Титан пропонує чудове поєднання стійкості до корозії, низького виділення газів, високого співвідношення міцності-до-ваги та сумісності з середовищами над-високого вакууму (UHV). Завдяки цим властивостям він ідеально підходить для обладнання для виробництва напівпровідників, яке піддається впливу агресивних хімікатів, плазмової обробки та умов високо-чистого виробництва. Порівняно з нержавіючої сталлю або алюмінієм, титан менш імовірно забруднює пластини іонами або частинками металу, що сприяє підвищенню продуктивності та стабільності процесу. Він зазвичай використовується для вакуумних камер, технологічних пристосувань, газорозподільних компонентів, частин обробки пластин і плазмового обладнання.
Як звести до мінімуму забруднення частинками під час виробництва?
+
-
Забруднення частинками є однією з найбільших проблем для виробників напівпровідників, оскільки навіть мікроскопічні частинки можуть зменшити продуктивність пластини. Щоб звести до мінімуму забруднення, титанові напівпровідникові компоненти повинні пройти точну обробку з ЧПУ з подальшою відповідною обробкою поверхні, такою як полірування, пасивація або електрополірування, якщо це необхідно. Компоненти зазвичай очищаються за допомогою напівпровідникових-процесів очищення та упаковуються в чистому середовищі, щоб запобігти забрудненню під час транспортування. Клієнти також можуть замовити конкретну шорсткість поверхні (Ra), рівень чистоти та індивідуальну упаковку відповідно до вимог свого обладнання.
Чи можете ви виготовляти титанові напівпровідникові компоненти на замовлення за кресленнями?
+
-
так Більшість напівпровідникових титанових компонентів виготовляються-на замовлення, оскільки кожен виробник обладнання має різні специфікації конструкції. Клієнти зазвичай надають: 2D-креслення або 3D-файли CAD (STEP, IGES, PDF) Вимоги до якості матеріалу Специфікації обробки поверхні Критичні допуски Вимоги до чистоти Вимоги до перевірки На основі цих специфікацій перед відправкою можна надати точну обробку з ЧПК, перевірку розмірів, відстеження матеріалу та індивідуальне пакування.
Якими документами про якість можуть бути титанові напівпровідникові компоненти?
+
-
Виробники напівпровідникового обладнання часто вимагають повну документацію про якість, щоб забезпечити узгодженість продукції та відстежуваність. Типові документи включають: Сертифікат випробування матеріалу (EN 10204 3.1) Звіт про хімічний склад Звіт про механічні властивості Звіт про перевірку розмірів Звіт про перевірку ШМ Звіт про шорсткість поверхні Перший огляд товару (FAI) Сертифікат відповідності (COC) Додаткові звіти про перевірку також можуть бути надані відповідно до специфікацій замовника.
Як титанові компоненти можуть зберігати тривалий термін служби в жорстких середовищах обробки напівпровідників?
+
-
Обробка напівпровідників часто включає високий вакуум, вплив плазми, корозійні технологічні гази та над-чисті хімікати. Поганий вибір матеріалу або невідповідна обробка поверхні можуть призвести до корозії, забруднення, надмірного виділення газів або скорочення терміну служби обладнання. Високоякісні-титанові компоненти виготовляються з використанням відповідних марок титану, точної механічної обробки, контрольованої обробки поверхні та суворого контролю якості. Правильний вибір матеріалу разом із чистими виробничими процесами допомагає підвищити стійкість до корозії, зменшити виділення газів, мінімізувати утворення частинок і подовжити термін служби компонентів у складних умовах експлуатації напівпровідників.
Популярні Мітки: титанові напівпровідникові компоненти, виробники титанових напівпровідникових компонентів у Китаї, постачальники, фабрика
